光學3D表面輪廓儀 SuperView W1產品說明書
| 品牌 | CHOTEST | 型號 | SuperView W1 |
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| 產地 | 中國 | 品名 | 光學3D表面輪廓儀 SuperView W1 |
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型號 |
W1 |
W1-Pro |
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光源 |
白光LED |
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影像系統 |
1024×1024 |
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干涉物鏡 |
10×（2.5×，5×， 20×，50×，100×可選） |
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光學ZOOM |
0.5×（0.75×，1×可選） |
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標準視場 |
0.98×0.98㎜ |
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最大視場 |
6×6㎜ |
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物鏡塔臺 |
3孔手動（5孔電動可選） |
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XY位移平臺 |
尺寸 |
320×200㎜ |
300×300mm |
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移動范圍 |
140×100㎜ |
200×200mm |
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負載 |
10kg |
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控制方式 |
電動 |
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水平調整 |
±4.5°手動 |
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Z軸 聚焦 |
行程 |
100㎜ |
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控制方式 |
電動 |
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Z向掃描范圍 |
10 ㎜ |
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Z向分辨率 |
0.1nm |
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可測樣品反射率 |
0.05%~100% |
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粗糙度RMS重復性 |
0.005nm |
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臺階測量 |
準確度 |
0.7% |
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重復性 |
0.1% 1σ |
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儀器尺寸 |
900×700×604㎜ |
900×700×1500㎜ |
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儀器主機重量 |
＜150㎏ |
＜160㎏ |
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使用環境要求 |
無強磁場，無腐蝕氣體 工作溫度：15℃ ~30℃，溫度梯度 < 1℃/15分鐘 相對濕度：5%-95%RH，無凝露 環境振動：VC-C或更優 |
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注：粗糙度性能參數依據ISO 25178國際標準在實驗室環境下測量Sa為0.2nm硅晶片Sq參數獲得；
臺階高性能參數為依據ISO 5436-1:2000標準在實驗室環境下測量4.7μm臺階高標準塊獲得。
注意：除【光學3D表面輪廓儀 SuperView W1】外，如有其他型號規格參數僅作對比參考。
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名稱 |
貨號 |
保修天數 |
說明 |
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光學3D表面輪廓儀 |
SuperView W1 |
一年 |
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